{"id":18546,"date":"2021-05-20T08:10:01","date_gmt":"2021-05-20T06:10:01","guid":{"rendered":"https:\/\/blog.wika.com\/de\/?p=18546"},"modified":"2022-04-25T13:07:12","modified_gmt":"2022-04-25T11:07:12","slug":"drucktransmitter-in-der-halbleiter-fertigung-an-uhp-fuehrt-kein-weg-vorbei","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/blog.wika.com\/de\/know-how\/drucktransmitter-in-der-halbleiter-fertigung-an-uhp-fuehrt-kein-weg-vorbei\/","title":{"rendered":"Drucktransmitter in der Halbleiter-Fertigung: An UHP f\u00fchrt kein Weg vorbei"},"content":{"rendered":"

Die Halbleiter-Produktion stellt hohe Anforderungen an die Druckmesstechnik. Drucktransmitter zum Beispiel kommen dort in der Ausf\u00fchrung UHP (\u201eUltra High Purity“) zum Einsatz. Dieser Beitrag geht der Frage nach, warum solche hochwertigen Ger\u00e4te notwendig sind und welche Eigenschaften sie aufweisen m\u00fcssen.<\/strong><\/p>\n

Die Drucktransmitter sind w\u00e4hrend der Halbleiter-Fertigung hochaggressiven, giftigen oder gar pyrophoren, also bei Raumtemperatur entz\u00fcndlichen Gasen ausgesetzt. Das gilt z. B. f\u00fcr die \u201eChemical Vapor Deposition“ (CVD), bei der Schichtmaterial auf einen Silizium-Grundk\u00f6rper abgeschieden wird. Angesichts der sensiblen Verfahrensschritte muss der gesamte Herstellungsprozess f\u00fcr die mikroskopischen Schaltkreise moderner Chips hochrein sein. Zudem darf keine Gefahr durch austretendes Gas entstehen.<\/p>\n

F\u00fcr Applikationen in der Halbleiter-Industrie hat WIKA die UHP-Drucktransmitter der WU-Serie entwickelt. Mit Blick auf die Sicherheit von Mensch und Umgebung sowie f\u00fcr eine reibungslose Produktion sind bei diesen Sensoren drei Kriterien entscheidend:<\/p>\n\n

UHP-Drucktransmitter der WU-Serie von WIKA erf\u00fcllen die Einsatzkriterien der Halbleiter-Fertigung.<\/p><\/div>\n \n

Reinheit<\/h2>\n

Bei der Herstellung der UHP-Drucktransmitter ist h\u00f6chste Sauberkeit unabdingbar, um Kontaminationen auszuschlie\u00dfen. Die Fertigung der Transmitter f\u00fcr die Halbleiter-Herstellung erfolgt daher in einem Reinraum gem\u00e4\u00df ISO 5. Ihr schlie\u00dft sich eine zweifache Reinigung zur Beseitigung von Fertigungsr\u00fcckst\u00e4nden an: erst mit destilliertem Wasser und dann mit Isopropanol. Nach der Trocknung folgt eine weitere Sp\u00fclung, diesmal mit Reinstgas. Anschlie\u00dfend wird das Ger\u00e4t doppelt verpackt: Ein solches \u201edouble bagging\u201c erm\u00f6glicht das saubere Einschleusen der Drucktransmitter in den Reinraum des Kunden.<\/p>\n

Dichtheit<\/h2>\n

Die gesamte UHP-Produktfamilie weist extrem geringe Leckageraten auf. Diese werden durch sorgf\u00e4ltig kontrollierte Orbitalschwei\u00dfverfahren erzielt. Zum Nachweis durchlaufen alle Ger\u00e4te einen Heliumlecktest<\/a>. Ein besonderes Augenmerk richtet sich dabei auf die Verbindung zwischen den UHP-Drucktransmittern und der Applikation, hier speziell auf die Dichtung. Herk\u00f6mmliche Polymerdichtungen kommen wegen der Reinheitsanforderungen nicht in Frage. Sie w\u00fcrden ausgasen und so den Prozess verunreinigen. Die Alternative besteht aus Verschraubungen mit Dichtlippen, zwischen die eine Metalldichtung gelegt wird. Eine solche Dichtung ist aus einem weicheren Material als die Verschraubung selbst gefertigt und passt sich somit an die Kontur der Dichtlippe an. Der Prozessanschluss ist damit sicher.<\/p>\n

Werkstoff<\/h2>\n

Wegen der geforderten Reinheit in der Halbleiter-Produktion m\u00fcssen die UHP-Drucktransmitter eine entsprechende Oberfl\u00e4cheng\u00fcte einhalten. Dies geschieht unter Verwendung eines besonders homogenen und einschlussfreien Edelstahls. Dieser als \u201edouble melt\u201c bezeichnete Werkstoff erh\u00e4lt seine hochwertigen Eigenschaften durch ein Aufschmelzen unter Vakuum. Elektropolieren sorgt f\u00fcr eine glatte, uniforme Oberfl\u00e4che der medienber\u00fchrten Teile. Die Werkst\u00fccke werden dazu in eine Elektrolytl\u00f6sung eingebracht und als Anode geschaltet. Die elektrochemische Reaktion auf diesen Vorgang wirkt zweifach: Sie f\u00fchrt zu einem Materialabtrag, aus dem eine Oberfl\u00e4che mit einer mittleren Rautiefe von \u2264 13 \u00b5m resultiert. Zeitgleich entsteht eine Oxidschicht, welche die Oberfl\u00e4che passiviert. Die Edelstahlteile weisen damit eine erh\u00f6hte Korrosions- und Lochfra\u00dfbest\u00e4ndigkeit auf.<\/p>\n

Hinweis
\n<\/b>Weitere Informationen zu unseren UHP-Drucktransmittern erhalten Sie auf der WIKA-Webseite<\/a>. Bei Fragen steht Ihnen Ihr Ansprechpartner<\/a> gerne zur Verf\u00fcgung.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Die Halbleiter-Produktion stellt hohe Anforderungen an die Druckmesstechnik. Drucktransmitter zum Beispiel kommen dort in der Ausf\u00fchrung UHP (\u201eUltra High Purity“) zum Einsatz. Dieser Beitrag geht der Frage nach, warum solche hochwertigen Ger\u00e4te notwendig sind und welche Eigenschaften sie aufweisen m\u00fcssen. 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