{"id":986,"date":"2010-07-07T10:21:12","date_gmt":"2010-07-07T08:21:12","guid":{"rendered":"https:\/\/blog.wika.com\/de\/?p=986"},"modified":"2022-08-18T13:28:55","modified_gmt":"2022-08-18T11:28:55","slug":"die-gangigsten-messprinzipien-bei-drucksensoren","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/blog.wika.com\/de\/know-how\/die-gangigsten-messprinzipien-bei-drucksensoren\/","title":{"rendered":"Die g\u00e4ngigsten Messprinzipien bei Drucksensoren"},"content":{"rendered":"<p><strong>Obwohl f\u00fcr die meisten Anwendungen die Wahl des Sensormessprinzips bzw. das Funktionsprinzip des Drucksensors ohne Belang ist, werden wir sehr oft gefragt, wie denn die von uns in unseren Drucksensoren und Drucktransmittern eingesetzte Sensorik funktioniert.<\/strong><\/p>\n<p>Dazu erst einmal eine allgemeine Definition: <a href=\"https:\/\/www.wika.com\/de-de\/drucksensoren.WIKA\" target=\"_blank\" rel=\"noopener external\">Drucksensoren<\/a> oder Drucksensorelemente sind Messelemente, die die physikalische Messgr\u00f6\u00dfe Druck in eine (druckproportionale) elektrische Gr\u00f6\u00dfe umwandeln. Dabei werden verschiedene physikalische Effekte genutzt und unterschiedliche Sensormaterialien, wie Silizium, Keramik oder Metall eingesetzt.<\/p>\n<p>Bei WIKA kommen die\u00a0drei g\u00e4ngigsten Druckmessprinzipien aus der industriellen Messtechnik zum Einsatz und werden in eigenen Entwicklungslabors entwickelt und auch selbst gefertigt:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>D\u00fcnnfilmsensoren<\/strong><br \/>\nBasieren auf dem gleichen Prinzip wie Dehnungsmessstreifen (DMS), d. h. meanderf\u00f6rmig angeordneten Widerstandsstrukturen, deren geometrische Dehnung bzw. Stauchung \u00fcber die resultierende L\u00e4ngen- und Dicken\u00e4nderung zu einer messbaren Widerstands\u00e4nderung f\u00fchrt. Bei D\u00fcnnfilmsensoren werden typischerweise vier Widerst\u00e4nde in Form einer Wheatstone Br\u00fccke auf einer Membrane angeordnet und erfassen so die Verformung der Membran unter Druck. Im sogenannten D\u00fcnnfilmverfahren werden diese Dehnungsmessstreifen auf einen (z. B. metallischen) Grundk\u00f6rper aufgebracht und strukturiert (sog. Sputtern mit anschl. Photolithografie und \u00c4tzung).<\/li>\n<li><strong>Dickschichtsensoren<\/strong><br \/>\nVerwenden analog zu den D\u00fcnnfilmsensoren ebenfalls typischerweise vier zu einer Wheatstone Br\u00fccke zusammengeschaltete Widerst\u00e4nde. Die Widerstandsstrukturen werden in mehreren Schichten mittels Dickschichttechnologie auf einen (z. B. keramischen) Grundk\u00f6rper \u201eaufgedruckt\u201c und anschlie\u00dfend bei hoher Temperatur eingebrannt. Hier erfolgt ebenfalls die Widerstands\u00e4nderung durch die aus der Verformung der Membran resultierenden auf Dehnung und Stauchung basierenden Geometrie\u00e4nderung.<\/li>\n<li><strong>Piezoresistive Drucksensoren<\/strong><br \/>\nBesitzen im Gegensatz zu den ersten beiden Prinzipien eine Messmembrane auf Halbleiter- (Silizium-)basis mit gezielt eindiffundierten Strukturen. Sie nutzen den sogenannten piezoresistiven Effekt, der die \u00c4nderung des elektrischen Widerstands in Halbleitermaterialien durch Dehnung oder Stauchung auf eine ver\u00e4nderte Beweglichkeit der Elektronen unter mechanischer Belastung beschreibt.<\/li>\n<\/ul>\n<p>Aufgrund der verschiedenen Materialien und Konstruktionsprinzipien ergeben sich jetzt\u00a0 einige technologische Unterschiede, die auch f\u00fcr manche Anwendungen relevant sein k\u00f6nnen. Grunds\u00e4tzlich verwenden wir bei \u00a0WIKA in unseren Produkten immer das f\u00fcr die Art der Anwendung am besten geeignete Messprinzip.<\/p>\n<p>Wie wird eigentlich der passende <a href=\"https:\/\/www.wika.com\/de-de\/lp_drucksensor.WIKA\" target=\"_blank\" rel=\"noopener external\">Drucksensor<\/a> ausgew\u00e4hlt und welche Drucksensoren eignen sich f\u00fcr industrielle Anwendungen? Mehr dazu erfahren Sie auf der WIKA-Website.<\/p>\n<p><strong>Hinweis<\/strong><br \/>\n<span>Bei Fragen steht Ihnen Ihr\u00a0<\/span><a href=\"https:\/\/www.wika.com\/de-de\/kontakt.WIKA\" target=\"_blank\" rel=\"external noopener\">Ansprechpartner<\/a><span>\u00a0gerne zur Verf\u00fcgung.<\/span><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Obwohl f\u00fcr die meisten Anwendungen die Wahl des Sensormessprinzips bzw. das Funktionsprinzip des Drucksensors ohne Belang ist, werden wir sehr oft gefragt, wie denn die von uns in unseren Drucksensoren und Drucktransmittern eingesetzte Sensorik funktioniert. 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