{"id":8745,"date":"2020-06-08T08:47:24","date_gmt":"2020-06-08T06:47:24","guid":{"rendered":"https:\/\/blog.wika.com\/fr\/?p=8745"},"modified":"2023-11-16T14:34:42","modified_gmt":"2023-11-16T13:34:42","slug":"les-mini-manometres-a-membrane-wika-pour-lindustrie-des-semi-conducteurs-une-mesure-de-pression-fiable-dans-les-environnements-uhp-corrosifs","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/blog.wika.com\/fr\/applications\/les-mini-manometres-a-membrane-wika-pour-lindustrie-des-semi-conducteurs-une-mesure-de-pression-fiable-dans-les-environnements-uhp-corrosifs\/","title":{"rendered":"Les mini-manom\u00e8tres \u00e0 membrane WIKA pour l’industrie des semi-conducteurs : une mesure de pression fiable dans les environnements UHP corrosifs"},"content":{"rendered":"

Les manom\u00e8tres \u00e0 tube manom\u00e9trique sont couramment utilis\u00e9s pour mesurer la pression, mais cela ne signifie pas qu’ils constituent la meilleure solution de mesure de la pression pour les applications de semi-conducteurs. Le mini manom\u00e8tre \u00e0 membrane WIKA pour l\u2019industrie du semi-conducteur est sp\u00e9cialement con\u00e7u pour r\u00e9sister aux fluides agressifs et aux environnements corrosifs que l’on trouve dans certaines applications de tr\u00e8s haute puret\u00e9.<\/strong><\/p>\n

Pour l’industrie des semi-conducteurs, les manom\u00e8tres \u00e0 tube manom\u00e9trique sont populaires pour plusieurs raisons. Disponibles et faciles \u00e0 utiliser, ils constituent une solution \u00e9conomique de mesure de la pression pour la plupart des applications de haute puret\u00e9 (HP) et d’ultra-haute puret\u00e9 (UHP). Toutefois, ces avantages ne l’emportent pas sur les aspects n\u00e9gatifs potentiels lorsqu’ils sont utilis\u00e9s dans des applications n\u00e9cessitant des gaz hautement r\u00e9actifs.<\/p>\n

Corrosion : le point faible des tubes manom\u00e9triques<\/h2>\n

Aujourd’hui, de nombreux proc\u00e9d\u00e9s dans l’industrie des semi-conducteurs n\u00e9cessitent l’utilisation de gaz d’attaque et de d\u00e9p\u00f4t tr\u00e8s agressifs. Comme ces gaz ultra purs se d\u00e9placent de leurs r\u00e9servoirs vers l’environnement du process, en cas de fuite dans une partie quelconque du syst\u00e8me de distribution du gaz, ils peuvent recueillir l’humidit\u00e9 de l’air ambiant. Lorsque des gaz tr\u00e8s r\u00e9actifs rencontrent l’eau, ils deviennent des acides corrosifs.<\/p>\n

Les tubes manom\u00e9triques, qui sont normalement constitu\u00e9s d’un m\u00e9tal tr\u00e8s fin non passiv\u00e9 (alliage de cuivre ou acier inoxydable), fonctionnent par flexion. Avec le temps, ce mouvement cr\u00e9e des micro-fissures. Ces fissures \u00e0 peine d\u00e9tectables ne posent pas de probl\u00e8me dans de nombreuses applications industrielles. Cependant, lorsque des fissures microscopiques entrent en contact avec des acides corrosifs, elles deviennent rapidement un probl\u00e8me grave. Tr\u00e8s vite, l’instrument ne fonctionne plus.<\/p>\n

Notre solution pour la corrosion des manom\u00e8tres dans l’industrie des semi-conducteurs<\/h2>\n

Si un manom\u00e8tre pour les applications dans le semi-conducteur peut ne pas utiliser de tube manom\u00e9trique pour mesurer la pression, une source importante de fuite est \u00e9limin\u00e9e. C’est pr\u00e9cis\u00e9ment dans ce cas que le mini manom\u00e8tre \u00e0 membrane UHP WIKA pr\u00e9sente un avantage certain. L\u2019\u00e9l\u00e9ment de mesure est une membrane, qui plus est r\u00e9alis\u00e9e en Inconel\u00ae 718, un super alliage tr\u00e8s r\u00e9sistant \u00e0 la corrosion. Le bo\u00eetier en acier inoxydable 316L est enti\u00e8rement passiv\u00e9 et poli \u00e9lectrochimiquement et toutes les pi\u00e8ces en contact avec le fluide sont isol\u00e9es de l’atmosph\u00e8re.<\/p>\n

Mini manom\u00e8tres \u00e0 membrane WIKA<\/h2>\n

WIKA produit deux mini-manom\u00e8tres \u00e0 membrane<\/a> (2 diam\u00e8tres diff\u00e9rents) id\u00e9aux pour les proc\u00e9d\u00e9s UHP dans l’industrie des semi-conducteurs. Les avantages de ces manom\u00e8tres sont :<\/p>\n