{"id":8072,"date":"2019-12-09T11:46:13","date_gmt":"2019-12-09T10:46:13","guid":{"rendered":"https:\/\/blog.wika.com\/it\/?p=8072"},"modified":"2023-02-02T14:31:09","modified_gmt":"2023-02-02T13:31:09","slug":"mini-manometri-a-membrana-per-i-semiconduttori","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/blog.wika.com\/it\/prodotti\/pressione-prodotti\/mini-manometri-a-membrana-per-i-semiconduttori\/","title":{"rendered":"Mini manometri a membrana per i semiconduttori"},"content":{"rendered":"

I manometri a molla Bourdon sono comunemente usati per misurare la pressione, ma ci\u00f2 non significa che siano la migliore soluzione di misura della pressione per le applicazioni del settore dei semiconduttori. Un mini manometro a membrana per semiconduttori \u00e8 progettato specificamente per resistere ai fluidi aggressivi e agli ambienti corrosivi presenti in alcune applicazioni ad altissima purezza.<\/strong><\/p>\n

Per l\u2019industria dei semiconduttori, i manometri a molla Bourdon sono popolari per una serie di motivi. Prontamente disponibili e facili da usare, sono una soluzione per la misura di pressione economica per la maggior parte delle applicazioni ad elevata purezza (HP) e ultra-elevata purezza (UHP). Tuttavia, questi vantaggi non superano i potenziali aspetti negativi se utilizzati in applicazioni che richiedono gas altamente reattivi.<\/p>\n

La corrosione: il punto debole delle molle Bourdon<\/h2>\n

Oggigiorno, molti processi per l\u2019industria dei semiconduttori richiedono l’uso di gas altamente aggressivi per attacco e deposizione. Poich\u00e9 questi gas ultra puri viaggiano dai loro serbatoi all’ambiente di processo, in caso di perdite in qualsiasi parte del sistema di erogazione del gas possono raccogliere l’umidit\u00e0 dall’aria ambiente. Quando i gas altamente reattivi incontrano l’acqua, diventano acidi corrosivi.<\/p>\n

Le molle Bourdon, che normalmente sono realizzate con un metallo non passivato molto sottile (lega di rame o acciaio inossidabile), funzionano mediante flessione. Nel tempo, questo movimento crea micro fessurazioni. Queste fessure appena rilevabili non sono un problema in molte applicazioni industriali. Tuttavia, quando le fessure microscopiche entrano in contatto con acidi corrosivi, diventano rapidamente un grave problema. Molto presto, lo strumento non funziona pi\u00f9.<\/p>\n

La nostra soluzione per la corrosione dei manometri nell\u2019industria dei semiconduttori<\/h2>\n

Se un manometro per semiconduttori non utilizza una molla Bourdon per misurare la pressione, si elimina un’importante fonte di perdite. E\u2019 proprio in questo caso che il mini manometro a membrana UHP WIKA<\/a> ha un netto vantaggio. La flessione (la membrana) \u00e8 realizzata in Inconel\u00ae 718, una super lega altamente resistente alla corrosione. La cassa in acciaio inossidabile 316L \u00e8 completamente passivata e lucidata elettrochimicamente e tutte le parti a contatto con il fluido sono sigillate dall’atmosfera.<\/p>\n

Mini manometri a membrana WIKA<\/h2>\n

WIKA produce due modelli mini manometri membrana ideali per i processi UHP nel settore dei semiconduttori. Ulteriori vantaggi di questi manometri sono:<\/p>\n