{"id":10278,"date":"2021-12-08T11:08:02","date_gmt":"2021-12-08T14:08:02","guid":{"rendered":"https:\/\/blog.wika.com\/pt\/\/?p=10278"},"modified":"2024-07-22T20:00:55","modified_gmt":"2024-07-22T23:00:55","slug":"transdutores-de-pressao-na-fabricacao-de-semicondutores-ultra-alta-pureza-com-design-uhp","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/blog.wika.com\/pt\/know-how\/transdutores-de-pressao-na-fabricacao-de-semicondutores-ultra-alta-pureza-com-design-uhp\/","title":{"rendered":"Transdutores de press\u00e3o na fabrica\u00e7\u00e3o de semicondutores: ultra-alta pureza com design UHP"},"content":{"rendered":"<p><strong>A produ\u00e7\u00e3o de semicondutores exige muito da tecnologia de medi\u00e7\u00e3o de press\u00e3o. Neste tipo de produ\u00e7\u00e3o, os transdutores de press\u00e3o, por exemplo, s\u00e3o implantados em um design de UHP \u201cUltra High Purity\u201d, ou seja, ultra-alta pureza. Este artigo aborda o motivo pelo qual esses instrumentos de alta qualidade s\u00e3o necess\u00e1rios e quais propriedades eles devem ter.<\/strong><\/p>\n<p>Durante a produ\u00e7\u00e3o de semicondutores, os transdutores de press\u00e3o s\u00e3o expostos a gases altamente agressivos, t\u00f3xicos ou mesmo pirof\u00f3ricos, ou seja, gases inflam\u00e1veis \u00e0 temperatura ambiente. Isso se aplica, por exemplo, \u00e0 \u201cdeposi\u00e7\u00e3o qu\u00edmica em fase vapor\u201d (sigla em ingl\u00eas CVD, Chemical Vapour Deposition), na qual o material da camada \u00e9 depositado em um substrato de sil\u00edcio. Em vista das etapas sens\u00edveis do processo, todo o processo de fabrica\u00e7\u00e3o dos circuitos microsc\u00f3picos dos chips modernos deve ser altamente puro. Al\u00e9m disso, n\u00e3o deve haver risco de vazamento de g\u00e1s.<\/p>\n<p>Para aplica\u00e7\u00f5es na ind\u00fastria de semicondutores, a WIKA desenvolveu os transdutores de press\u00e3o UHP da s\u00e9rie WU. Em rela\u00e7\u00e3o \u00e0 seguran\u00e7a das pessoas e do meio ambiente, bem como \u00e0 produ\u00e7\u00e3o regular, tr\u00eas crit\u00e9rios s\u00e3o fundamentais para esses sensores:<\/p>\n\n      <div class=\"wp-caption alignright\" style=\"max-width:396px;\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/blog.wika.com\/en\/wp-content\/blogs.dir\/18\/files\/2021\/04\/textbild_uhp-transmitter_2-388x304.jpg\" \/><p class=\"wp-caption-text\">Os transdutores de press\u00e3o UHP da s\u00e9rie WU da WIKA atendem aos crit\u00e9rios de aplica\u00e7\u00e3o da produ\u00e7\u00e3o de semicondutores.<\/p><\/div>\n    \n<h2>Pureza<\/h2>\n<p>Durante a produ\u00e7\u00e3o dos transdutores de press\u00e3o UHP, \u00e9 fundamental manter o mais alto n\u00edvel de limpeza e higiene para eliminar qualquer risco de contamina\u00e7\u00e3o. Os transdutores para a produ\u00e7\u00e3o de semicondutores s\u00e3o, portanto, fabricados em um local limpo de acordo com a norma ISO 5. Um processo de dupla limpeza \u00e9 realizado para remover os res\u00edduos da produ\u00e7\u00e3o: primeiro com \u00e1gua destilada e depois com isopropanol. Ap\u00f3s a secagem, segue-se outro enx\u00e1gue, desta vez com g\u00e1s ultrapuro. O instrumento \u00e9 ent\u00e3o embalado duas vezes: este \u201cempacotamento duplo\u201d permite que os transdutores de press\u00e3o sejam introduzidos de forma limpa na sala limpa do cliente.<\/p>\n<h2>Estanqueidade<\/h2>\n<p>Todos os produtos UHP possuem taxas de vazamento extremamente baixas. Isso \u00e9 poss\u00edvel por meio de processos de soldagem orbital cuidadosamente controlados. Para garantir tal seguran\u00e7a, todos os instrumentos passam por um teste de vazamento de h\u00e9lio. Aten\u00e7\u00e3o especial \u00e9 dada \u00e0 conex\u00e3o entre os transdutores de press\u00e3o UHP e a aplica\u00e7\u00e3o, especialmente a veda\u00e7\u00e3o. Os vedantes de pol\u00edmero convencionais est\u00e3o fora de quest\u00e3o devido aos requisitos de pureza. A raz\u00e3o disso \u00e9 que, com esses vedantes, ocorre vazamento de g\u00e1s, contaminando o processo. Por isso, a alternativa consiste em conex\u00f5es roscadas com l\u00e1bios de veda\u00e7\u00e3o entre os quais \u00e9 colocada uma veda\u00e7\u00e3o met\u00e1lica. Essa veda\u00e7\u00e3o \u00e9 feita de um material mais macio do que a pr\u00f3pria conex\u00e3o roscada e, portanto, se adapta ao contorno do l\u00e1bio de veda\u00e7\u00e3o. Assim, a conex\u00e3o do processo \u00e9 segura.<\/p>\n<h2>Material<\/h2>\n<p>Devido ao n\u00edvel de pureza necess\u00e1rio na produ\u00e7\u00e3o de semicondutores, os transdutores de press\u00e3o UHP devem manter uma qualidade de superf\u00edcie equivalente. Isso \u00e9 poss\u00edvel usando um a\u00e7o inoxid\u00e1vel especificamente homog\u00eaneo e sem inclus\u00f5es. Esse material, conhecido como \u201cdouble melt\u201d (derretimento duplo), obt\u00e9m suas propriedades de alta qualidade por meio da fus\u00e3o a v\u00e1cuo. O eletropolimento garante uma superf\u00edcie lisa e uniforme das partes \u00famidas ou molhadas. Para isso, as pe\u00e7as s\u00e3o colocadas em uma solu\u00e7\u00e3o eletrol\u00edtica e conectadas como um \u00e2nodo. A rea\u00e7\u00e3o eletroqu\u00edmica a este processo tem um efeito duplo: causa remo\u00e7\u00e3o de material, resultando em uma superf\u00edcie com rugosidade superficial m\u00e9dia \u2264 13 \u00b5m. Ao mesmo tempo, \u00e9 formada uma camada de \u00f3xido que torna a superf\u00edcie passiva. As pe\u00e7as de a\u00e7o inoxid\u00e1vel apresentam, portanto, maior resist\u00eancia \u00e0 corros\u00e3o.<\/p>\n<p><b>Observa\u00e7\u00e3o<br \/>\n<\/b>Para mais informa\u00e7\u00f5es sobre nossos transdutores de press\u00e3o UHP, visite o <a href=\"https:\/\/www.wika.com\/pt-br\/pagina_inicial.WIKA\" target=\"_blank\" rel=\"noopener external nofollow\" class=\"ext-link\" onclick=\"this.target=&#039;_blank&#039;;\">site da WIKA<\/a>. Em caso de d\u00favidas, entre em <a href=\"https:\/\/www.wika.com\/pt-br\/contato.WIKA\" target=\"_blank\" rel=\"noopener external nofollow\" class=\"ext-link\" onclick=\"this.target=&#039;_blank&#039;;\">contato<\/a> conosco, ficaremos felizes em ajudar.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>A produ\u00e7\u00e3o de semicondutores exige muito da tecnologia de medi\u00e7\u00e3o de press\u00e3o. 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